مضخة فراغية توربينية مرفوعة مغناطيسيًا منخفضة الاهتزاز CXF-320 / 3000E

مضخة ماجليف ، CXF-320 / 3000E ، تبريد بالماء ، ISO-F ، تحكم خارجي

المضخات الجزيئية التي يتم رفعها مغناطيسيًا هي المضخات التي يتم دعم محورها بواسطة القوة المغناطيسية.

سلسلة المضخات الجزيئية التي ترفع مغناطيسيًا عبارة عن معدات توليد فراغ طورتها KYKY لتلبية متطلبات التطبيق في مجالات تصنيع أشباه الموصلات الحديثة وتصنيع الرقائق والطلاء الصناعي والأدوات العلمية.

يُطلق على المحمل الكهرومغناطيسي أيضًا اسم "الدببة المغنطيسية النشطة" ، والتي تتكون من محمل مغناطيسي وجهاز استشعار ونظام تحكم.هذا التصميم لديه استجابة ديناميكية وتعديل في الوقت المناسب ، ومحور عالي السرعة وعملية موثوقة.

مزايا:

1. عدم الاحتكاك أثناء التشغيل ، وانخفاض استهلاك الطاقة

2. من السهل الحصول على فراغ عالي ونظيف حقًا وفراغ عالي جدًا بدون تزييت للمضخات

3. قادرة على استخراج الغازات المسببة للتآكل على المدى الطويل

4. سلامة عالية وعمر خدمة طويل بسبب حماية المحامل بكرات السيراميك الدقيقة

5. وظيفة توليد الطاقة في حالة انقطاع التيار الكهربائي المفاجئ

6. خالية من الاحتكاك

7. خالية من التلوث

8. خالية من الصيانة

9. اهتزاز منخفض

10. مثبتة في أي اتجاه.

التقنيات:

• تكنولوجيا التحكم للمحمل المغناطيسي: 5 محاور مرفوعة مغناطيسياً.يمكن أن يتمتع هذا التصميم باستجابة ديناميكية وتعديل في الوقت المناسب عن طريق تقنية التحكم الديناميكي في التعليق المغنطيسي النشط الديناميكي بناءً على نظرية التحكم الدولية المتقدمة ، وذلك لضمان هذه المزايا المهمة للمحور عالي السرعة مثل التشغيل المستقر والموثوق.
• تقنية التحكم في محرك المحرك: يتم تطبيق محرك DC عالي السرعة ونظام التحكم المؤازر على سلسلة من المضخات التي ترفع مغناطيسيًا ، وذلك للحصول على أقصى طاقة للمحرك ولتعويض سرعة دوران المحور تلقائيًا ، وبالتالي تحقيق بدء تشغيل مستقر وتشغيل موثوق وتنظيم تلقائي وظيفة الطاقة الديناميكية.
• تكنولوجيا الدوار المركب من ألياف الكربون: يتم تصنيع الدوارات التوربينية للمضخات الجزيئية للتعليق المغناطيسي التسلسلي عن طريق تركيب سبائك الألومنيوم عالية القوة وألياف الكربون خفيفة الوزن.بالمقارنة مع جميع دوارات سبائك الألومنيوم ، تتميز الدوارات التوربينية بتخفيض كبير في الوزن وتحسين كبير في القوة ، بحيث يتم تحقيق أهداف سرعة الدوران العالية والأداء العالي والموثوقية العالية.
• تقنية مقاومة التآكل: تتم معالجة أسطح الأجزاء في غرف المضخات الجزيئية للتعليق المغناطيسي التسلسلي بمعالجة خاصة ، بحيث يمكن للأسطح مقاومة التآكل الناجم عن الغازات المسببة للتآكل في عمليات تصنيع أشباه الموصلات لفترة طويلة.بالإضافة إلى ذلك ، تمتلئ الغازات الخاملة مثل N2 بالكامل في عمود المضخات لحماية الأجزاء ذات الفراغ المنخفض في المضخات ، بحيث تتحقق وظيفة استنفاد الغازات المسببة للتآكل بشكل ثابت لفترات طويلة.
• نظام التحكم في درجة حرارة التدفئة: تم تجهيز المضخات الجزيئية التي يتم رفعها مغناطيسيًا بسخان كهربائي وجهاز تحكم في درجة الحرارة ، بحيث يمكن مراقبة مياه التبريد وتسخين الهواء والعظام والتدفئة الكهربائية والحرارة التي تحملها الغازات الواقية أثناء التشغيل ، ويمكن الحفاظ على درجة الحرارة في المضخات عند بعض القيمة على المدى الطويل ، لا يتم تحويل بعض المواد الغازية إلى مواد صلبة في درجة الحرارة العادية ولا تترسب في المضخات ، ويمكن تلبية متطلبات عملية خاصة مثل النقش.

تحديد:

التطبيقات:

يتم تطبيق المضخات الجزيئية التي يتم رفعها مغناطيسيًا بشكل أساسي في مجالات تصنيع أشباه الموصلات وتصنيع القصاصات والطلاء الصناعي والأدوات العلمية ، خاصة لاستخراج الغازات المسببة للتآكل الموجودة في حفر الحفر ، و CVD ، و PVD ، وغرس الأيونات والغازات التي تتخثر بسهولة في درجة الحرارة العادية.