جهاز التحكم الخارجي Maglev Pump Turbo Vacuum Pump Water Cooling Motor Drive

مضخة ماجليف ، CXF-250/2300 ، ISO-K / CF ، تبريد بالماء ، وحدة تحكم خارجية

المضخات الجزيئية التي يتم رفعها مغناطيسيًا هي المضخات التي يتم دعم محورها بواسطة القوة المغناطيسية ، وتلبية متطلبات التطبيق لمجالات تصنيع أشباه الموصلات الحديثة ، وتصنيع الرقائق ، والطلاء الصناعي ، والأدوات العلمية.

التقنيات:

• تكنولوجيا التحكم للمحمل المغناطيسي: 5 محاور ترفع مغناطيسيًا ، استنادًا إلى نظرية التحكم الدولية المتقدمة ، لضمان مثل هذه المزايا المهمة للمحور عالي السرعة مثل التشغيل المستقر والموثوق.
• تقنية التحكم في محرك المحرك: محرك DC عالي السرعة وعالي الكفاءة ونظام تحكم مؤازر ، يتمتعان بأقصى طاقة للمحرك ولتعويض سرعة دوران المحور تلقائيًا ، وبالتالي تحقيق بدء تشغيل مستقر وتشغيل موثوق ووظيفة تنظيم تلقائية للطاقة الديناميكية.
• تكنولوجيا الدوار المركب من ألياف الكربون: مصنوعة من خلال تركيب سبائك الألومنيوم عالية القوة وألياف الكربون خفيفة الوزن.يتميز بتخفيض الوزن بشكل كبير وتحسين كبير في القوة ، بحيث يتم تحقيق أهداف سرعة الدوران العالية والأداء العالي والموثوقية العالية.
• تقنية مقاومة التآكل: تتم معالجة أسطح الأجزاء في الغرف بعملية خاصة ، بحيث يمكن للأسطح مقاومة التآكل الناجم عن الغازات المسببة للتآكل في عمليات تصنيع أشباه الموصلات لفترة طويلة.بالإضافة إلى ذلك ، تمتلئ الغازات الخاملة مثل N2 بالكامل في عمود المضخات لحماية الأجزاء ذات الفراغ المنخفض في المضخات ، بحيث تتحقق وظيفة استنفاد الغازات المسببة للتآكل بشكل ثابت لفترات طويلة.
• نظام التحكم في درجة حرارة التدفئة: مجهزة بسخان كهربائي وجهاز تحكم في درجة الحرارة ، ومياه التبريد ، وتسخين الهواء العظمي ، والتدفئة الكهربائية والحرارة التي تحملها غازات واقية يمكن مراقبتها والتحكم فيها أثناء التشغيل ، ويمكن الحفاظ على درجة الحرارة في المضخات عند بعض القيمة على المدى الطويل ، وبعضها غازي لا يتم تحويل المواد إلى مواد صلبة عند درجة الحرارة العادية ولا تترسب في المضخات ، ويمكن تلبية متطلبات العملية الخاصة مثل النقش.

مزايا:

تتميز هذه المضخات بمزايا ، مثل عدم الاحتكاك أثناء التشغيل ، وانخفاض استهلاك الطاقة ، وسهولة الحصول على فراغ عالي ونظيف حقًا وفراغ عالي جدًا بدون تزييت للمضخات ، وقادرة على استخراج الغازات المسببة للتآكل على المدى الطويل ، وسلامة عالية وعمر خدمة طويل بسبب الحماية المحامل بكرات سيراميك دقيقة ووظيفة توليد الطاقة في حالة انقطاع التيار الكهربائي المفاجئ.لها مزايا خالية من الاحتكاك والتلوث والصيانة وذات اهتزازات منخفضة ، ويمكن تثبيتها في أي اتجاه.

التطبيقات:

استخراج الغازات المسببة للتآكل الموجودة في حفر الحفر ، و CVD ، و PVD ، وغرس الأيونات والغازات التي تتخثر بسهولة في درجة الحرارة العادية في مجالات تصنيع أشباه الموصلات ، وتصنيع القصاصات ، والطلاء الصناعي ، والأدوات العلمية.

تخصيص: