تفاصيل المنتج:
شروط الدفع والشحن:
|
شفة: | ISO-K / CF | تبريد: | ماء |
---|---|---|---|
مراقب: | صعد على متنها | الضغط المطلق: | CF: 1E-6 ، ISO-K / F: 6E-6 |
تسليط الضوء: | مضخات جزيئية توربو,مضخة تفريغ جزيئية توربينية |
مضخة ماجليف ، CXF-250 / 2301E ، تبريد مائي ، على اللوح
المضخات الجزيئية التي يتم رفعها مغناطيسيًا هي المضخات التي يتم دعم محورها بواسطة القوة المغناطيسية.
سلسلة المضخات الجزيئية التي ترفع مغناطيسيًا عبارة عن معدات توليد فراغ طورتها KYKY لتلبية متطلبات التطبيق في مجالات تصنيع أشباه الموصلات الحديثة وتصنيع الرقائق والطلاء الصناعي والأدوات العلمية.
التقنيات:
التطبيقات:
يتم تطبيق المضخات الجزيئية التي يتم رفعها مغناطيسيًا بشكل أساسي في مجالات تصنيع أشباه الموصلات وتصنيع القصاصات والطلاء الصناعي والأدوات العلمية ، خاصة لاستخراج الغازات المسببة للتآكل الموجودة في حفر الحفر ، و CVD ، و PVD ، وغرس الأيونات والغازات التي تتخثر بسهولة في درجة الحرارة العادية.
تحديد:
شفة (في) | DN250 CF / ISO-K ، ISO-F |
شفة (خارج) KF | DN40 |
سرعة الضخ (لتر / ثانية) | ن2: 2300 |
Ar: 2250 | |
هو: 1900 | |
ح2: 850 | |
نسبة الضغط | ن2: 108 |
Ar: 108 | |
هو: 104 | |
ح2: 103 | |
الضغط الأقصى (باسكال) | CF: 1 × 10-6 |
ISO-K / F: 6 × 10-6 | |
الأعلى.ضغط الفراغ المستمر (Pa) | 60 |
الأعلى.ضغط الفراغ الأمامي | ن2: 250 |
الغاز في جميع أنحاء (SCCM) | ن2: 3600 |
Ar: 1400 | |
هو: 2800 | |
ح2: 2100 | |
سرعة الدوران (دورة في الدقيقة) | 27000 |
وقت التشغيل (دقيقة) | ≤11 |
نوع التبريد ، قياسي | ماء |
استهلاك مياه التبريد (لتر / دقيقة) | 1 |
درجة حرارة مياه التبريد (℃) | 20 |
توصيل الطاقة: الجهد (V AC) | 220 |
اتصل شخص: sales
الهاتف :: +8613810212935